主要是攜帶速度、極限分離粒徑和除霧器的分級分離效率。

（1）攜帶速度。除霧器的捕集效率隨氣流速度的增加而增加，這是由于流速高，作用于液滴上的慣性力大，有利于氣液的分離，但是流速的增加將造成系統阻力增加，使得能耗增加。并且實驗證明，流速增加到一定的程度，除霧效率不升反而急劇下降，分離后的霧滴將被氣體再次攜帶。這就是臨界氣體速度。這是除霧器選型和設計的一個重要參數。平板式除霧器臨界速度一般為5.2m/s左右，屋脊式除霧器臨界速度一般為7.2m/s左右，煙道式除霧器臨界速度一般為9m/s左右。對應的空塔或空煙道速度一般分別為3.8m/s、4.5m/s和5m/s左右。

（2）極限分離粒徑。極限分離粒徑就是所有大于此霧滴粒徑的液滴將被100%地從氣體中分離。窄的葉片間距和長的通道長度能獲得更小的極限分離粒徑，但同時帶來積垢和阻塞的問題。平板式除霧器極限粒徑為28~32μm左右，屋脊式除霧器極限粒徑為22~24μm左右，煙道式除霧器極限粒徑約為15μm左右。

（3）除霧器的分級分離效率。每一級除霧器除了能夠100%分離大于極限霧滴的顆粒，還可以分離那些比極限粒徑小的顆粒，這部分分離效率即為分級分離效率。